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Jun 11, 2023

INFICON がそのマグネシウムについて詳しく説明します

これは INFICON によるスポンサー付きの投稿です OLED 製造業者は、OLED 製造プロセス中にマグネシウム材料が堆積することに苦労してきました。 INFICONはハイレベルな技術を開発しました

これは INFICON によるスポンサー付きの投稿です

OLEDメーカーは、OLED製造プロセス中のマグネシウム材料の堆積に苦労してきました。 INFICONは、OLED蒸着専用の高レベルのマグネシウム感受性結晶を開発しました。これにより、高い安定性と再現性を維持しながら、マグネシウムモニタリングの初期時間遅延を大幅に短縮できます。

次のアプリケーション ノートでは、OLED 蒸着用の INFICON 結晶、開発プロセス、および OLED 業界に最高のソリューションを提供することを確認するために結晶の品質を特徴付け、評価するために同社が行った実験について詳しく説明します。

水晶マイクロバランス (QCM) は、有機発光ダイオード (OLED) や光学デバイスの製造、その他多くのアプリケーションにとって最も重要な INFICON 製品の 1 つです。 薄膜による質量負荷による QCM の共振周波数の変化により、基板上の膜厚の蓄積速度を相関させるための代用として使用することができます。 INFICON 高精度センサー クリスタルの設計は、OLED 材料の堆積を制御する際に活性低下 (活性信号の不安定性) が起こりにくい、より安定した結晶を求める多くの OLED メーカー™ の要件に基づいています。 INFICON 高精度センサー クリスタルのフィールド パフォーマンスでは、ほとんど発生しない場合の発生数と大きさの観点から、ほぼ消滅したアクティビティのディップでレートの安定性が向上することが示されています。 このリンクを使用して高精度センサー Crystal Line テクニカル ノートを参照してください。

INFICON 高精度センサー クリスタルは、一般的な蒸着モニタリング目的に対して高い安定性を提供しますが、特定の蒸着材料はクリスタル上の金属電極とうまく相互作用しません。 OLED 製造プロセスにおける重要な陰極材料であるマグネシウム (Mg) は、これらの材料の 1 つです。 一般に、現在の業界標準の QCM 結晶は、真空中での真の Mg 堆積速度を反映するまでに数十分から数時間の範囲の非常に長い時間がかかります。 ケースバイケースの遅延期間は、真空チャンバー内のさまざまな結晶設置構成によって異なり、一般に Mg の堆積速度に反比例します。 また、Mg の遅延は、金の結晶電極よりも合金の結晶電極を使用した場合の方が顕著であることにも注意してください。

これまで、OLED 業界には高速 Mg 検出のためのソリューションはありませんでした。 ユーザーは、実際の堆積を監視する前に、同じ真空チャンバー内で結晶を Mg でプレコーティングすることで、この Mg 遅延問題を回避する必要がありました。 Mg をプレコーティングするこの追加のステップにはかなりの時間がかかり、顧客には高価で無駄な材料の負担がかかります。 さらに、Mg コーティングは輸送または保管中に大気への曝露に耐えられないため、INFICON または他のクリスタル メーカーではこのプレコーティング手順を実行できません。 コストと時間のかかるプレコーティング手順を行わずに、高速かつ安定した Mg 検出を実現する結晶技術の新しいソリューションが利用可能になりました。

INFICON マグネシウムセンシティブ OLED クリスタルラインを開発するために、クリスタルの形状と仕上げ、電極の厚さ、電極材料、電極のコーティング率など、クリスタルの製造および加工パラメータのすべての要素について詳細な調査が行われました。 材料とプロセスパラメータは、さまざまな結晶を製造し、テストし、結果を徹底的に分析することによって最適化されました。 研究とフィールド研究の両方で証明された最適化された材料とプロセスパラメータを使用して、INFICON マグネシウムセンシティブ OLED クリスタルが誕生しました。 これらおよびすべての INFICON、Maxtek、および Fil-Tech クリスタルは、米国カンザス州の INFICON EDC, Inc. で製造されています。 INFICONは現在、標準Mg高感度OLED結晶ライン用の金および合金電極材料を提供しています。 さらに、よりグレードが高く、より安定したマグネシウムに敏感な結晶（活性低下が本質的にない）製品ラインも、両方の電極材料で利用できます。 Mg Sensitive OLED クリスタルのハイグレードおよびスタンダードラインの部品番号を以下の表に示します。